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电子氟化液在半导体制造中具体有哪些应用场景?

时间:2024-08-14   访问量:328

精尚化工JS-1040电子氟化液常温是一种透明、无色、低气味的流体,旨在取代臭氧消耗物质(ODSs)、具有高全球变暖潜势(GWP) 的化合物和氟化材料,其沸点高于大多数氯氟烃、氟氯烃和氢氟碳化合物,减少了蒸发损失。


JS-1040电子氟化液.png


电子氟化液的主要作用是:

1清洗剂:在半导体制造过程中,氟化液作为清洗剂,用于去除晶圆表面上的杂质和残留物,确保晶圆的洁净度,对提高半导体器件的性能和良率起着关键作用

2脱水剂:在湿法清洗步骤后,氟化液可用于圆晶的脱水干燥。利用其低表面张力的特性,通过马兰戈尼效应去除晶圆表面的水分,避免了使用传统IPA(异丙醇)作为干燥剂可能带来的问题,如残留物和闪点风险 。

3光刻机控温液:在集成电路的制造中,干法刻蚀环节使用氟化液作为控温液,帮助精准控制晶圆表面的温度,这对提升芯片制程的整体良率和缩短研发周期至关重要

4封装测试液:在半导体元件的测试过程中,氟化液作为冷却介质,用于模拟不同环境条件下的测试,确保元件在极端条件下也能正常工作

5导热/冷却介质:氟化液因其优异的热传导性能和化学稳定性,被用作计算机服务器及电子元器件系统的散热介质,有效提高散热效率

6其他用途:氟化液还可用于半导体制造过程中的溶媒稀释剂、润滑稀释剂等,以及在冷热冲击测试中作为测试液


电子氟化液在半导体制造中具体有哪些应用场景?.png


电子氟化液 使用时需注意:

1本产品使用须于保质期内,宜即开即用,使用前务必阅读产品 MSDS

2使用过程中如溅入眼睛,即刻用大量水冲洗,并送就医;如皮肤接触请用肥皂水彻底清洗。

3使用中避免接触过高温度或碱土金属,否则容易分解,降低使用性能。


随着技术的发展和环保要求的提高,电子氟化液在半导体制造中的应用前景广阔,特别是在3M等公司逐步退出PFAS产品市场后,国内企业有机会承接市场,加速国产替代

 

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